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SD系列射频电源：适用于采用高频单激发的等离子体化学气相淀积设备、等离子体喷涂设备、等离子体刻蚀设备、反　　应离子刻蚀机、等离子体去胶机、等离子体清洗机等感性及容性输出负载的等离子体设备。　　技... ...

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ZP系列射频电源自动匹配装置：适用于采用高频单激发的等离子体化学气相淀积设备、等离子体喷涂设备、等离子体刻蚀设备、反应离子刻蚀机、等离子体去胶机、等离子体清洗机等感性及容性输出负载的等离子体设备。... ...

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